팹 유틸리티

AMC

airborne molecular contamination

정의

입자가 아니라 산, 염기, 유기물 같은 기체 분자로 클린룸 공기에 섞인 오염입니다. 필터로 걸러지지 않아 따로 감시합니다.

동의어

분자 오염 · 가스상 오염

영어

airborne molecular contamination

관련 용어

클린룸cleanroomFFUfan filter unit

대응 표준

SEMI F21 · ISO 14644-8

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/airborne-molecular-contamination

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「AMC」(airborne molecular contamination), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/airborne-molecular-contamination, CC BY 4.0.