팹 유틸리티
공정 가스
process gas
초안버전 0.1.12026-10-09 갱신
- 정의
- 증착, 식각, 이온주입 같은 공정에 원료나 분위기로 들어가는 기체입니다. 대량으로 쓰는 벌크 가스와 소량의 특수 가스로 나눕니다.
- 동의어
- 가스
- 영어
- process gas
- 하위 용어
- 특수 가스specialty gas
- 처음 들어온 버전
- 0.1.0
- 고정 주소
https://ontocraft.com/terms/process-gas
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「공정 가스」(process gas), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/process-gas, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문