Quality and metrology
파티클
particle
DraftVersion 0.2.0Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 웨이퍼나 장비 표면에 붙는 미세한 입자입니다. 패턴을 막거나 끊어 결함이 되므로 클린룸 공기, 장비 부품, 약액과 가스에서 나오는 양을 관리하고, 장비별로 파티클 측정용 웨이퍼를 흘려 확인합니다.
- Synonyms
- 입자 오염 · 이물
- English
- particle
- Related terms
- 결함defect클린룸cleanroom모니터 웨이퍼monitor wafer
- Added in version
- 0.2.0
- Permanent URI
https://w3id.org/ontocraft/terms/fab-particle
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “파티클” (particle), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/fab-particle, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text