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공정 가스
process gas
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 증착, 식각, 이온주입 같은 공정에 원료나 분위기로 들어가는 기체입니다. 대량으로 쓰는 벌크 가스와 소량의 특수 가스로 나눕니다.
- Synonyms
- 가스
- English
- process gas
- Narrower terms
- 특수 가스specialty gas
- Related terms
- 특수 가스specialty gas가스 캐비닛gas cabinet
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/process-gas
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “공정 가스” (process gas), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/process-gas, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text