품질과 계측

결함 밀도

defect density

정의

웨이퍼의 단위 면적에 있는 치명 결함의 수입니다. 같은 결함 밀도라도 다이 면적이 클수록 다이 수율이 낮아지므로, 수율 모델에서 공정 성숙도를 나타내는 값으로 씁니다.

동의어

D0 · 디펙트 덴시티

영어

defect density

관련 용어

다이 수율die yield결함defect그로스 다이gross die

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/defect-density

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「결함 밀도」(defect density), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/defect-density, CC BY 4.0.