품질과 계측

결함

defect

정의

웨이퍼 위의 입자, 긁힘, 무늬 이상처럼 소자의 동작을 해칠 수 있는 물리적 이상입니다. 전기적 불량과 바로 같지는 않습니다.

쓰임 예

결함 검사 결과에는 결함마다 웨이퍼 위 좌표, 크기, 분류 코드가 남아 웨이퍼 맵 위에 겹쳐 봅니다.

동의어

디펙트 · 결점

영어

defect

관련 용어

결함 검사defect inspection웨이퍼 맵wafer map불량 분석failure analysis

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/wafer-defect

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「결함」(defect), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/wafer-defect, CC BY 4.0.