품질과 계측
결함 검사
defect inspection
초안버전 0.1.12026-10-09 갱신
- 정의
- 광학 장비나 전자빔으로 웨이퍼 표면을 훑어 결함의 위치와 크기를 찾는 일입니다. 막의 치수를 재는 계측과 구분합니다.
- 동의어
- 인스펙션 · 디펙트 검사
- 영어
- defect inspection
- 관련 용어
- 결함defect계측metrology
- 처음 들어온 버전
- 0.1.0
- 고정 주소
https://ontocraft.com/terms/defect-inspection
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「결함 검사」(defect inspection), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/defect-inspection, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문