전공정

EUV 노광

extreme ultraviolet lithography

정의

파장이 아주 짧은 극자외선으로 미세한 무늬를 찍는 노광 방식입니다. 진공 안에서 거울로 빛을 반사시켜 씁니다.

동의어

EUV · 극자외선 노광

영어

extreme ultraviolet lithography

상위 용어

포토 공정photolithography

관련 용어

포토마스크photomask공정 노드technology node

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/euv-lithography

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「EUV 노광」(extreme ultraviolet lithography), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/euv-lithography, CC BY 4.0.