전공정
포토 공정
photolithography
초안버전 0.1.12026-10-09 갱신
- 정의
- 감광액을 바른 웨이퍼에 마스크의 회로 무늬를 빛으로 옮기는 공정입니다. 도포, 노광, 현상 단계로 이루어집니다.
- 동의어
- 포토 · 리소그래피 · 노광
- 영어
- photolithography
- 상위 용어
- 전공정front-end process
- 처음 들어온 버전
- 0.1.0
- 고정 주소
https://ontocraft.com/terms/photolithography
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「포토 공정」(photolithography), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/photolithography, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문