장비와 공정 제어

가상 계측

virtual metrology

정의

측정하지 않은 웨이퍼의 공정 결과를 장비 데이터로 예측하는 방법입니다. 표본만 재는 실제 계측의 빈자리를 메우며, 예측 모델은 실측값과 견주어 계속 다시 맞춰야 합니다.

동의어

VM

영어

virtual metrology

관련 용어

트레이스 데이터equipment trace data계측metrologyAPCadvanced process control

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/fab-virtual-metrology

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「가상 계측」(virtual metrology), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/fab-virtual-metrology, CC BY 4.0.