장비와 공정 제어

트레이스 데이터

equipment trace data

정의

공정 중 장비 센서가 짧은 주기로 남기는 온도, 압력, 전력, 유량 같은 시계열 값입니다.

쓰임 예

트레이스 데이터는 웨이퍼 번호와 레시피 단계 번호를 붙인 센서 시계열로 저장되어 단계별로 잘라 봅니다.

동의어

센서 데이터 · 장비 로그

영어

equipment trace data

관련 용어

FDCfault detection and classification가상 계측virtual metrology

대응 표준

SEMI E134

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/equipment-trace-data

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「트레이스 데이터」(equipment trace data), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/equipment-trace-data, CC BY 4.0.