장비와 공정 제어

FDC

fault detection and classification

정의

장비 트레이스 데이터를 실시간으로 보아 정상과 다른 처리를 찾아내고 원인 유형을 나누는 시스템입니다. 웨이퍼 결과가 아니라 장비 신호를 봅니다.

동의어

이상 감지·분류

영어

fault detection and classification

관련 용어

트레이스 데이터equipment trace dataSPCstatistical process control

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/fdc

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「FDC」(fault detection and classification), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/fdc, CC BY 4.0.