데이터 표준

GEM300

GEM300

정의

300mm 팹 자동화를 위해 캐리어, 작업, 로드 포트 관리 규격을 GEM에 더한 표준 묶음입니다.

동의어

300mm 표준

영어

GEM300

상위 용어

SEMI 표준SEMI standards

관련 용어

SECS/GEMSECS/GEM로드 포트load port

대응 표준

SEMI E39 · SEMI E40 · SEMI E87 · SEMI E90 · SEMI E94

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/gem300

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「GEM300」(GEM300), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/gem300, CC BY 4.0.