팹 운영

로드 포트

load port

정의

장비 앞에서 FOUP을 받아 문을 열고 웨이퍼를 장비 안으로 넘기는 장치입니다.

동의어

LP

영어

load port

관련 용어

FOUPfront opening unified podOHToverhead hoist transport

대응 표준

SEMI E84 · SEMI E87

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/load-port

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「로드 포트」(load port), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/load-port, CC BY 4.0.