팹 운영

FOUP

front opening unified pod

정의

300mm 웨이퍼를 담아 바깥 공기와 막아 둔 채 옮기는 앞문 달린 밀폐 용기입니다.

동의어

풉 · 웨이퍼 캐리어

영어

front opening unified pod

관련 용어

로트lot로드 포트load portAMHSautomated material handling system

대응 표준

SEMI E47.1

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/foup

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「FOUP」(front opening unified pod), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/foup, CC BY 4.0.