팹 운영

로트 이력

lot genealogy

정의

로트와 웨이퍼가 어느 장비, 챔버, 레시피, 시각에 처리되었는지 이어 놓은 기록입니다. 수율 문제를 장비로 거슬러 올라갈 때 씁니다.

쓰임 예

수율이 떨어진 로트의 이력을 따라가면 공정 단계마다 처리한 장비, 챔버, 레시피, 시각이 한 줄씩 나옵니다.

동의어

계보 · 트레이서빌리티 · 웨이퍼 이력

영어

lot genealogy

관련 용어

로트lot공통성 분석commonality analysis

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/lot-genealogy

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「로트 이력」(lot genealogy), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/lot-genealogy, CC BY 4.0.