팹 운영

로트

lot

정의

같은 공정을 함께 거치도록 묶은 웨이퍼 무리입니다. 보통 FOUP 하나에 담기고 팹 안에서 추적하는 기본 단위가 됩니다.

쓰임 예

MES 로트 기록에는 로트 번호, 담긴 웨이퍼 장수, 현재 공정 단계, FOUP 번호가 함께 남습니다.

동의어

Lot · 랏

영어

lot

관련 용어

FOUPfront opening unified pod로트 이력lot genealogy웨이퍼wafer

대응 표준

SEMI E90

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/wafer-lot

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「로트」(lot), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/wafer-lot, CC BY 4.0.