Equipment and process control
시즈닝
chamber seasoning
DraftVersion 0.2.0Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 세정이나 정비를 마친 챔버에 더미 웨이퍼를 흘려 내벽 상태를 안정시키는 작업입니다. 정비 직후 첫 웨이퍼들의 결과가 흔들리는 것을 막기 위해 하며, 끝난 뒤 모니터 웨이퍼로 확인하고 생산을 다시 받습니다.
- Synonyms
- 챔버 시즈닝 · 더미 런
- English
- chamber seasoning
- Added in version
- 0.2.0
- Permanent URI
https://w3id.org/ontocraft/terms/chamber-seasoning
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “시즈닝” (chamber seasoning), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/chamber-seasoning, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text