Equipment and process control
챔버
process chamber
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 장비 안에서 실제 공정이 일어나는 밀폐 공간입니다. 같은 장비의 챔버끼리도 결과가 다를 수 있어 따로 추적합니다.
- Example of use
- 장비 이벤트와 로트 이력에는 웨이퍼마다 어느 챔버에서 처리했는지 챔버 번호가 함께 남습니다.
- Synonyms
- CH · 공정 챔버
- English
- process chamber
- Broader term
- 공정 장비process tool
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/process-chamber
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “챔버” (process chamber), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/process-chamber, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text