Fab operations
로트 이력
lot genealogy
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 로트와 웨이퍼가 어느 장비, 챔버, 레시피, 시각에 처리되었는지 이어 놓은 기록입니다. 수율 문제를 장비로 거슬러 올라갈 때 씁니다.
- Example of use
- 수율이 떨어진 로트의 이력을 따라가면 공정 단계마다 처리한 장비, 챔버, 레시피, 시각이 한 줄씩 나옵니다.
- Synonyms
- 계보 · 트레이서빌리티 · 웨이퍼 이력
- English
- lot genealogy
- Related terms
- 로트lot공통성 분석commonality analysis
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/lot-genealogy
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “로트 이력” (lot genealogy), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/lot-genealogy, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text