Front-end wafer processing
PVD
physical vapor deposition
DraftVersion 0.2.0Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 고체 재료를 스퍼터링이나 증발로 떼어 내 웨이퍼 위에 막으로 쌓는 증착 방식입니다. 화학 반응으로 막을 만드는 CVD와 달리 재료를 물리적으로 옮기며, 주로 배선과 장벽층 같은 금속막에 씁니다.
- Synonyms
- 물리 기상 증착 · 스퍼터링
- English
- physical vapor deposition
- Broader term
- 증착thin film deposition
- Added in version
- 0.2.0
- Permanent URI
https://w3id.org/ontocraft/terms/pvd
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “PVD” (physical vapor deposition), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/pvd, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text