전공정

ALD

atomic layer deposition

정의

원료 기체를 번갈아 넣어 원자 한 층씩 막을 쌓는 증착 방식입니다. 느리지만 깊은 구조 안에도 고른 두께로 덮습니다.

동의어

원자층 증착

영어

atomic layer deposition

상위 용어

증착thin film deposition

관련 용어

CVDchemical vapor deposition3D NAND3D NAND flash

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/ald

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「ALD」(atomic layer deposition), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/ald, CC BY 4.0.