전공정

증착

thin film deposition

정의

웨이퍼 위에 절연막, 금속막 같은 얇은 막을 입히는 공정을 통틀어 부르는 말입니다.

동의어

디포 · 박막 증착

영어

thin film deposition

상위 용어

전공정front-end process

하위 용어

CVDchemical vapor depositionALDatomic layer deposition

관련 용어

막 두께film thickness공정 가스process gas

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/thin-film-deposition

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「증착」(thin film deposition), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/thin-film-deposition, CC BY 4.0.