전공정

CVD

chemical vapor deposition

정의

기체 원료를 반응시켜 생긴 물질을 웨이퍼 표면에 쌓는 증착 방식입니다. 원료를 함께 흘려 계속 쌓으므로 원료를 번갈아 넣는 ALD보다 빠르지만, 깊은 구조의 안쪽까지 고른 두께로 덮기는 어렵습니다.

동의어

화학 기상 증착

영어

chemical vapor deposition

상위 용어

증착thin film deposition

관련 용어

ALDatomic layer deposition공정 가스process gas

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/cvd

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「CVD」(chemical vapor deposition), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/cvd, CC BY 4.0.