장비와 공정 제어

시즈닝

chamber seasoning

정의

세정이나 정비를 마친 챔버에 더미 웨이퍼를 흘려 내벽 상태를 안정시키는 작업입니다. 정비 직후 첫 웨이퍼들의 결과가 흔들리는 것을 막기 위해 하며, 끝난 뒤 모니터 웨이퍼로 확인하고 생산을 다시 받습니다.

동의어

챔버 시즈닝 · 더미 런

영어

chamber seasoning

관련 용어

챔버process chamber모니터 웨이퍼monitor wafer챔버 매칭chamber matching

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/chamber-seasoning

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「시즈닝」(chamber seasoning), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/chamber-seasoning, CC BY 4.0.