장비와 공정 제어

챔버

process chamber

정의

장비 안에서 실제 공정이 일어나는 밀폐 공간입니다. 같은 장비의 챔버끼리도 결과가 다를 수 있어 따로 추적합니다.

쓰임 예

장비 이벤트와 로트 이력에는 웨이퍼마다 어느 챔버에서 처리했는지 챔버 번호가 함께 남습니다.

동의어

CH · 공정 챔버

영어

process chamber

상위 용어

공정 장비process tool

관련 용어

챔버 매칭chamber matching공정 장비process tool로트 이력lot genealogy

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/process-chamber

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「챔버」(process chamber), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/process-chamber, CC BY 4.0.