장비와 공정 제어

모니터 웨이퍼

monitor wafer

정의

제품이 아닌 시험용 웨이퍼로, 장비 상태를 점검하거나 공정 결과를 측정하려고 흘립니다.

동의어

테스트 웨이퍼 · 더미 웨이퍼 · MW

영어

monitor wafer

관련 용어

계측metrologySPCstatistical process control공정 장비process tool

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/monitor-wafer

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「모니터 웨이퍼」(monitor wafer), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/monitor-wafer, CC BY 4.0.