품질과 계측

CD

critical dimension

정의

패턴에서 소자 특성을 좌우하는 가장 중요한 치수입니다. 주로 선의 폭이나 구멍의 지름을 잽니다.

쓰임 예

계측 결과에는 측정 지점마다 CD 값이 남고, 현상 뒤 측정과 식각 뒤 측정을 따로 구분해 적습니다.

동의어

선폭 · 임계 치수

영어

critical dimension

상위 용어

계측metrology

관련 용어

포토 공정photolithography식각etching

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/critical-dimension

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「CD」(critical dimension), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/critical-dimension, CC BY 4.0.