전공정
식각
etching
초안버전 0.1.12026-10-09 갱신
- 정의
- 감광액이나 하드 마스크로 가리지 않은 부분의 막을 깎아 내는 공정입니다.
- 동의어
- 에칭 · 에치
- 영어
- etching
- 상위 용어
- 전공정front-end process
- 하위 용어
- 건식 식각dry etching
- 처음 들어온 버전
- 0.1.0
- 고정 주소
https://ontocraft.com/terms/wafer-etching
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「식각」(etching), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/wafer-etching, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문