품질과 계측

파티클

particle

정의

웨이퍼나 장비 표면에 붙는 미세한 입자입니다. 패턴을 막거나 끊어 결함이 되므로 클린룸 공기, 장비 부품, 약액과 가스에서 나오는 양을 관리하고, 장비별로 파티클 측정용 웨이퍼를 흘려 확인합니다.

동의어

입자 오염 · 이물

영어

particle

관련 용어

결함defect클린룸cleanroom모니터 웨이퍼monitor wafer

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/fab-particle

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「파티클」(particle), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/fab-particle, CC BY 4.0.