팹 운영

레시피

recipe

정의

장비가 한 공정 단계를 처리할 때 따르는 온도, 압력, 가스 유량, 시간 같은 조건의 묶음입니다.

쓰임 예

장비 이벤트의 레시피 ID 칸은 그 웨이퍼를 어떤 조건 묶음으로 처리했는지 가리키며, 로트 이력과 이어 봅니다.

동의어

공정 레시피 · 장비 레시피

영어

recipe

관련 용어

공정 장비process toolR2R 제어run-to-run control

대응 표준

SEMI E42

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/fab-recipe

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「레시피」(recipe), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/fab-recipe, CC BY 4.0.