장비와 공정 제어

R2R 제어

run-to-run control

정의

앞 로트나 앞 웨이퍼의 측정 결과를 보고 다음 처리의 레시피 값을 조금씩 바꾸는 제어 방식입니다.

쓰임 예

R2R 제어 기록에는 앞 로트의 계측값과 그것으로 계산한 다음 로트의 보정값이 쌍으로 남습니다.

동의어

Run-to-Run · R2R

영어

run-to-run control

상위 용어

APCadvanced process control

관련 용어

레시피recipe오버레이overlay

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/run-to-run-control

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「R2R 제어」(run-to-run control), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/run-to-run-control, CC BY 4.0.