장비와 공정 제어

공정 장비

process tool

정의

웨이퍼에 공정을 수행하는 장비 한 대입니다. 로드 포트, 이송 로봇, 하나 이상의 챔버로 이루어집니다.

동의어

장비 · 툴 · 설비

영어

process tool

하위 용어

챔버process chamber

관련 용어

챔버process chamber레시피recipe

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/process-tool

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「공정 장비」(process tool), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/process-tool, CC BY 4.0.