품질과 계측

막 두께

film thickness

정의

증착, 산화, 연마 뒤에 남은 막의 두께입니다. 웨이퍼 안의 여러 지점을 재어 평균과 균일도를 봅니다.

쓰임 예

증착 뒤 계측 결과에는 지점별 두께와 함께 웨이퍼 평균과 균일도가 적힙니다.

동의어

THK · 두께

영어

film thickness

상위 용어

계측metrology

관련 용어

증착thin film depositionCMPchemical mechanical polishing

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/film-thickness

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「막 두께」(film thickness), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/film-thickness, CC BY 4.0.