전공정

CMP

chemical mechanical polishing

정의

연마 패드와 슬러리로 웨이퍼 표면을 깎아 평평하게 만드는 공정입니다. 다음 층의 노광 초점을 맞추려면 필요합니다.

동의어

화학적 기계 연마 · 평탄화

영어

chemical mechanical polishing

상위 용어

전공정front-end process

관련 용어

막 두께film thickness공정 케미컬process chemical

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/chemical-mechanical-polishing

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「CMP」(chemical mechanical polishing), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/chemical-mechanical-polishing, CC BY 4.0.