품질과 계측
오버레이
overlay
초안버전 0.1.12026-10-09 갱신
- 정의
- 새로 찍은 층의 무늬가 아래 층의 무늬와 어긋난 정도입니다. X와 Y 방향으로 나눠 재며, 어느 층을 기준으로 정렬했는지 함께 알아야 원인을 찾을 수 있습니다.
- 쓰임 예
- 노광 뒤 계측 결과에는 샷과 지점마다 오버레이 X·Y 값이 남고, 웨이퍼 단위 평균과 3σ가 함께 기록됩니다.
- 동의어
- OVL · 층간 정렬 오차
- 영어
- overlay
- 상위 용어
- 계측metrology
- 처음 들어온 버전
- 0.1.0
- 고정 주소
https://ontocraft.com/terms/overlay-error
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「오버레이」(overlay), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/overlay-error, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문