팹 유틸리티

서브팹

sub-fab

정의

클린룸 아래층에서 진공 펌프, 배기 처리 장치, 공급 배관 같은 장비 지원 설비가 놓이는 공간입니다.

동의어

하부층 · 유틸리티층

영어

sub-fab

관련 용어

팹wafer fab로컬 스크러버point-of-use abatement

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/sub-fab

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「서브팹」(sub-fab), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/sub-fab, CC BY 4.0.