팹 유틸리티
약액 공급 장치
chemical delivery system
초안버전 0.2.02026-10-09 갱신
- 정의
- 저장 탱크의 공정 케미컬을 정해진 농도와 압력으로 배관을 따라 장비까지 보내는 공급 설비입니다. 주로 서브팹에 두며, 필터와 농도 감시로 약액에서 오는 오염을 막습니다.
- 동의어
- CDS · 케미컬 공급 장치
- 영어
- chemical delivery system
- 처음 들어온 버전
- 0.2.0
- 고정 주소
https://w3id.org/ontocraft/terms/chemical-delivery-system
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「약액 공급 장치」(chemical delivery system), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/chemical-delivery-system, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문