팹 유틸리티

공정 냉각수

process cooling water

정의

공정 장비의 챔버, 전원부, 펌프에서 나는 열을 빼기 위해 돌리는 냉각수입니다. 웨이퍼에 닿는 초순수와 달리 장비 안을 순환하며, 공급 온도와 유량이 흔들리면 장비 알람과 공정 변동으로 이어집니다.

동의어

PCW · 장비 냉각수

영어

process cooling water

관련 용어

서브팹sub-fab초순수ultrapure water공정 장비process tool

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/process-cooling-water

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「공정 냉각수」(process cooling water), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/process-cooling-water, CC BY 4.0.