팹 유틸리티

초순수

ultrapure water

정의

이온, 유기물, 입자, 용존 가스를 거의 다 걷어 낸 물입니다. 세정과 습식 공정에 대량으로 씁니다.

동의어

UPW · DI워터

영어

ultrapure water

관련 용어

세정wafer cleaning공정 폐수fab wastewater

대응 표준

SEMI F63 · ASTM D5127

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/ultrapure-water

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「초순수」(ultrapure water), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/ultrapure-water, CC BY 4.0.