전공정

세정

wafer cleaning

정의

공정 사이에 웨이퍼 표면의 입자, 유기물, 금속 오염을 씻어 내는 공정입니다. 전공정에서 가장 자주 반복되는 단계입니다.

동의어

클린 · 웨트 세정

영어

wafer cleaning

상위 용어

전공정front-end process

관련 용어

초순수ultrapure water공정 케미컬process chemicalQ타임 제한queue time limit

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/wafer-cleaning

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「세정」(wafer cleaning), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/wafer-cleaning, CC BY 4.0.