팹 운영

재작업

rework

정의

검사에서 기준을 벗어난 웨이퍼의 공정을 되돌려 다시 하는 일입니다. 반도체에서는 주로 포토 공정에서 감광액을 벗기고 노광을 다시 하며, 되돌릴 수 없는 식각 뒤에는 할 수 없으므로 판정 시점이 중요합니다.

동의어

리워크 · 포토 리워크

영어

rework

관련 용어

포토 공정photolithography오버레이overlay규격 이탈out of spec

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/wafer-rework

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「재작업」(rework), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/wafer-rework, CC BY 4.0.