Fab utilities
약액 공급 장치
chemical delivery system
DraftVersion 0.2.0Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 저장 탱크의 공정 케미컬을 정해진 농도와 압력으로 배관을 따라 장비까지 보내는 공급 설비입니다. 주로 서브팹에 두며, 필터와 농도 감시로 약액에서 오는 오염을 막습니다.
- Synonyms
- CDS · 케미컬 공급 장치
- English
- chemical delivery system
- Related terms
- 공정 케미컬process chemical서브팹sub-fab세정wafer cleaning
- Added in version
- 0.2.0
- Permanent URI
https://w3id.org/ontocraft/terms/chemical-delivery-system
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “약액 공급 장치” (chemical delivery system), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/chemical-delivery-system, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text