Fab utilities
서브팹
sub-fab
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 클린룸 아래층에서 진공 펌프, 배기 처리 장치, 공급 배관 같은 장비 지원 설비가 놓이는 공간입니다.
- Synonyms
- 하부층 · 유틸리티층
- English
- sub-fab
- Related terms
- 팹wafer fab로컬 스크러버point-of-use abatement
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/sub-fab
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “서브팹” (sub-fab), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/sub-fab, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text