Quality and metrology
CD
critical dimension
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 패턴에서 소자 특성을 좌우하는 가장 중요한 치수입니다. 주로 선의 폭이나 구멍의 지름을 잽니다.
- Example of use
- 계측 결과에는 측정 지점마다 CD 값이 남고, 현상 뒤 측정과 식각 뒤 측정을 따로 구분해 적습니다.
- Synonyms
- 선폭 · 임계 치수
- English
- critical dimension
- Broader term
- 계측metrology
- Related terms
- 포토 공정photolithography식각etching
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/critical-dimension
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “CD” (critical dimension), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/critical-dimension, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text