Equipment and process control

트레이스 데이터

equipment trace data

Definition(Written in Korean)

공정 중 장비 센서가 짧은 주기로 남기는 온도, 압력, 전력, 유량 같은 시계열 값입니다.

Example of use

트레이스 데이터는 웨이퍼 번호와 레시피 단계 번호를 붙인 센서 시계열로 저장되어 단계별로 잘라 봅니다.

Synonyms

센서 데이터 · 장비 로그

English

equipment trace data

Related terms

FDCfault detection and classification가상 계측virtual metrology

Corresponding standards

SEMI E134

Only the names of standards are listed. They have not been compared with the standards' original text, so the definition is not claimed to match them.

Added in version

0.1.0

Permanent URI

https://ontocraft.com/terms/equipment-trace-data

JSON-LD for this term

Citation

OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “트레이스 데이터” (equipment trace data), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/equipment-trace-data, CC BY 4.0.