Equipment and process control

종료점 검출

endpoint detection

Definition(Written in Korean)

식각이나 CMP를 하는 동안 플라스마 발광이나 표면 반사 같은 신호의 변화를 보고 목표 막이 다 깎인 시점을 찾아 공정을 멈추는 기능입니다. 정해진 시간만큼 처리하는 방식보다 막 두께 차이에 덜 흔들립니다.

Synonyms

EPD · 엔드포인트

English

endpoint detection

Related terms

건식 식각dry etchingCMPchemical mechanical polishing트레이스 데이터equipment trace data

Added in version

0.2.0

Permanent URI

https://w3id.org/ontocraft/terms/endpoint-detection

JSON-LD for this term

Citation

OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “종료점 검출” (endpoint detection), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/endpoint-detection, CC BY 4.0.