Equipment and process control
가상 계측
virtual metrology
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 측정하지 않은 웨이퍼의 공정 결과를 장비 데이터로 예측하는 방법입니다. 표본만 재는 실제 계측의 빈자리를 메우며, 예측 모델은 실측값과 견주어 계속 다시 맞춰야 합니다.
- Synonyms
- VM
- English
- virtual metrology
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/fab-virtual-metrology
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “가상 계측” (virtual metrology), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/fab-virtual-metrology, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text