Fab operations
레시피
recipe
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 장비가 한 공정 단계를 처리할 때 따르는 온도, 압력, 가스 유량, 시간 같은 조건의 묶음입니다.
- Example of use
- 장비 이벤트의 레시피 ID 칸은 그 웨이퍼를 어떤 조건 묶음으로 처리했는지 가리키며, 로트 이력과 이어 봅니다.
- Synonyms
- 공정 레시피 · 장비 레시피
- English
- recipe
- Related terms
- 공정 장비process toolR2R 제어run-to-run control
- Corresponding standards
SEMI E42
Only the names of standards are listed. They have not been compared with the standards' original text, so the definition is not claimed to match them.
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/fab-recipe
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “레시피” (recipe), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/fab-recipe, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text