Equipment and process control
공정 장비
process tool
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 웨이퍼에 공정을 수행하는 장비 한 대입니다. 로드 포트, 이송 로봇, 하나 이상의 챔버로 이루어집니다.
- Synonyms
- 장비 · 툴 · 설비
- English
- process tool
- Narrower terms
- 챔버process chamber
- Related terms
- 챔버process chamber레시피recipe
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/process-tool
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “공정 장비” (process tool), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/process-tool, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text